真空計(jì)量、質(zhì)譜和檢漏的一些進(jìn)展
國(guó)內(nèi)外真空計(jì)量、質(zhì)譜和檢漏領(lǐng)域均有新進(jìn)展。自從2002年召開(kāi)中國(guó)真空學(xué)會(huì)第十一屆質(zhì)譜分析和檢漏會(huì)議和中國(guó)計(jì)量測(cè)試學(xué)會(huì)第六屆真空計(jì)量會(huì)議(桂林會(huì)議)以來(lái)。
參與會(huì)議的代表來(lái)自美、英、德、意、韓、日、法、墨、芬、新、十、捷、俄、巴基斯坦和中國(guó)等十五國(guó)，2003年9月22-24日在北京由國(guó)際測(cè)量聯(lián)合會(huì)(InternatMeasurconfeder簡(jiǎn)稱(chēng)IMKO壓力和真空測(cè)量技術(shù)委員會(huì)(TC16首次在國(guó)北京召開(kāi)了國(guó)際壓力和真空測(cè)量會(huì)議。共發(fā)表論文54篇，己由中國(guó)計(jì)量出版社用英文出版了三白余頁(yè)的會(huì)議論文集。由蘭州物理所、消華大學(xué)和中國(guó)計(jì)量院執(zhí)筆、綜述中國(guó)真空計(jì)量進(jìn)展的論文作為大會(huì)綜述演講在全體會(huì)議上發(fā)表，中文全文已刊登在真空與低溫”2004年第一期。
設(shè)有真空科學(xué)與技術(shù)專(zhuān)門(mén)分會(huì)場(chǎng)，2004年6月28日一7月2日在意大利的威尼斯城召開(kāi)了第十六屆國(guó)際真空會(huì)議〔IVC-16/第十二屆國(guó)際固體表面會(huì)議 ICSS-12/第八屆國(guó)際納米尺度科學(xué)與技術(shù)會(huì)議(NA NO-8和第十七屆意大利真空會(huì)議(AIV-17這二年一屆的國(guó)際盛會(huì)有1500人參加。共發(fā)表口頭和張貼真空論文108篇，一定水平上反映了真空計(jì)量、質(zhì)譜和檢漏技術(shù)的現(xiàn)狀和新進(jìn)展。
包括德國(guó)聯(lián)邦物理技術(shù)研究所(PTB和意大利計(jì)量研究院(IMGC真空校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室、Varian公司在意大利和美國(guó)的工廠和美國(guó)AMETEK和Extrel兩家生產(chǎn)四極質(zhì)譜計(jì)的公司。近兩年有機(jī)會(huì)訪問(wèn)了歐美的一些相關(guān)工廠和研究單位。
結(jié)合參與兩個(gè)相關(guān)國(guó)際會(huì)議與對(duì)歐美的訪問(wèn)作簡(jiǎn)要綜述，本文將根據(jù)已了解的國(guó)內(nèi)外真空計(jì)量、質(zhì)譜和檢漏領(lǐng)域的新進(jìn)展。由于了解情況有限，希望起到拋磚引玉”作用。
一、真空計(jì)量
有些部門(mén)已經(jīng)加大了對(duì)真空計(jì)量的投入，質(zhì)量控制和加入WTO促進(jìn)了國(guó)對(duì)計(jì)量和標(biāo)準(zhǔn)化的重視。呈現(xiàn)了一些可喜的進(jìn)展和新成果。
國(guó)已生產(chǎn)的各種類(lèi)型真空計(jì)數(shù)量和質(zhì)量均有提高。
國(guó)際規(guī)范化組織 ISO/真空技術(shù)(TC112秘書(shū)處現(xiàn)設(shè)在PTB,德國(guó)PTBK.Jousten博士在IVC-16上做了分子流區(qū)域氣體密度非均勻性的丈量與計(jì)算”演講。意大利IMGCCalcartel博士綜述了意大利真空技術(shù)的發(fā)展，該所在電容薄膜規(guī)(CDG校準(zhǔn)和修正擬合模型等方面長(zhǎng)期開(kāi)展了深入的研究。
韓國(guó)、墨西哥等國(guó)都加大了對(duì)真空計(jì)量等的投入。
目前己有寬達(dá)13個(gè)量程的這類(lèi)商品出現(xiàn)。真空計(jì)集成實(shí)現(xiàn)寬量程的發(fā)展趨勢(shì)引人注目。
國(guó)在加強(qiáng)基礎(chǔ)研究、提高真空計(jì)量和發(fā)展新品種、更積極的參與ISO/TC112活動(dòng)等方面均需做山更大的努力。
二、質(zhì)譜分析
國(guó)內(nèi)需求急劇增長(zhǎng)，國(guó)內(nèi)外對(duì)真空質(zhì)譜重要性的認(rèn)識(shí)進(jìn)一步得到確認(rèn)。取得了多項(xiàng)有重要價(jià)值的效果。
當(dāng)前與大、中型質(zhì)譜儀器的開(kāi)發(fā)停滯不前的形勢(shì)一樣，雖然我國(guó)曾在真空質(zhì)譜儀器研究方面敲步甚早。國(guó)產(chǎn)分壓強(qiáng)質(zhì)譜計(jì)的研究和生產(chǎn)已落入低谷 盡管還有些單位在困難條件下堅(jiān)持工作。這一嚴(yán)峻形勢(shì)最近已開(kāi)始引起注意。
激烈的竟?fàn)幋偈沽诵阅軆r(jià)格比的提高，擴(kuò)展質(zhì)量范圍、提高質(zhì)量分辨身手、擴(kuò)展樂(lè)強(qiáng)范圍(ExtendPressurRang,四極質(zhì)譜計(jì)系列仍是主流產(chǎn)品。微型化以及縮小體積減輕重量等方面不斷取得新的突破。
小型色譜飛行時(shí)間質(zhì)譜計(jì)(TOFMS發(fā)展取得了顯著的進(jìn)展。
小型色譜/質(zhì)譜(GC/MS儀器的新進(jìn)展值得重視。
但目前尚未達(dá)到規(guī)范化的水平，分壓強(qiáng)質(zhì)譜計(jì)的校準(zhǔn)日益受到重視。國(guó)在這方面早已起步，取得了階段性效果。
既是嚴(yán)峻的挑戰(zhàn)，國(guó)內(nèi)真空質(zhì)譜分析需求急劇增長(zhǎng)和國(guó)外產(chǎn)品競(jìng)相進(jìn)入我國(guó)市場(chǎng)的條件下。也有良好的發(fā)展機(jī)遇。
三、檢漏
迅速發(fā)展確保密封性的系統(tǒng)下 程中成為最重要的檢測(cè)手段，檢漏已成為保證真空、常壓以及高壓器件和系統(tǒng)密封性必不可少的實(shí)用技術(shù)。國(guó)已有日益廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域，還有很多尚待開(kāi)發(fā)的處女地。
國(guó)檢漏儀器的開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)從來(lái)沒(méi)有中斷過(guò)，國(guó)際上各種類(lèi)型先進(jìn)的檢漏儀器不斷進(jìn)入國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的同時(shí)。己經(jīng)穩(wěn)定的堅(jiān)持了民族工業(yè)的發(fā)展，并不斷進(jìn)取，采用先進(jìn)的技術(shù)。
涉及的廠家和單位也不斷擴(kuò)大。每次年會(huì)上都可高興地見(jiàn)到新產(chǎn)品和新型號(hào)儀器問(wèn)世。
特別是便攜式儀器在10-12~10-11Pam3/檢漏靈敏度范圍內(nèi)穩(wěn)步提高的情況下 主要朝便于實(shí)用的方向繼續(xù)發(fā)展。與此同時(shí)，各種類(lèi)型的質(zhì)譜檢漏儀。為確保小型真空儀器的高可靠性和長(zhǎng)壽命，采用累積法實(shí)現(xiàn)10-14~10-11 Pam3/超靈敏度檢漏系統(tǒng)和技術(shù)正在發(fā)展，國(guó)這方向的研究也不斷取得新進(jìn)展。
非質(zhì)譜型工業(yè)業(yè)檢漏儀器的發(fā)展最值得引起國(guó)內(nèi)的密切注意。利用石英滲氮及其溫度效應(yīng)和小型離子泵作為檢測(cè)元件的工業(yè)便攜式檢測(cè)儀器成為IVC-16會(huì)議上真空儀器發(fā)展的新亮點(diǎn)，為滿(mǎn)足工業(yè)檢翻日益增長(zhǎng)的需求。至少己有加熱石英毛細(xì)管和利用硅基片上沉積Si02膜，通過(guò)半導(dǎo)體工藝制成Si02窗和熱柵的兩種商品批聳生產(chǎn)，具有工業(yè)檢漏的靈敏度，可在大氣壓下檢漏。
微流量(漏率)校準(zhǔn)及參考漏孔的研制都取得了繼續(xù)穩(wěn)定的進(jìn)展，為保證檢漏儀器的可靠性。這方面國(guó)內(nèi)取得了可喜的進(jìn)展，靈敏度檢翻的實(shí)時(shí)校準(zhǔn)方法有白己的特色。
四、總結(jié)
國(guó)存在著日益廣泛的應(yīng)用市場(chǎng)，真空計(jì)量、質(zhì)譜分析和檢漏都是上業(yè)和科研廣泛領(lǐng)域都有實(shí)用價(jià)值的實(shí)用技術(shù)。學(xué)會(huì)已在推動(dòng)其發(fā)展的進(jìn)程中發(fā)抨了顯著的作用，如能發(fā)揚(yáng)我已形成的激進(jìn)并進(jìn)一步發(fā)展和發(fā)揮年輕力量的作用，今后的前景一定是更光明的!
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